微小气体质量流量计/控制器

　　微小气体质量流量计/控制器工作原理

　　微小气体质量流量计/控制器(Mass Flow Controler 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，密封探头由两传感元件组成--速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级铂金电阻温度探测器(RTD)。铂金RTD丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。

　　产品特点

　　◆ 预热时间短、零漂小、可靠性高

　　◆ 数字信号，可使用计算机控制和显示流量计

　　◆ 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N)标定

　　◆ 质量流量的单位规定为:SCCM（标准毫升/分）；SLM（标准升/分）

　　◆ 标准状态规定为： 温度------273.15K（0℃）

　　气压-------101325 Pa(760mm Hg)

　　◆F.S（Full Scale）：、满量程值

　　产品参数

　　产品尺寸

模拟型气体质量流量控制器

数显型气体质量流量控制器

　　选型参考

　　应用行业

　　微小气体质量流量计/控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。医疗设备、玻璃行业、真空镀膜、分析仪器、燃料电池、大气检测、冶金、环保、制气配气、太阳能、发泡行业等。